掃描探針顯微鏡AFM5500MⅡ配置寬范圍平板掃描器,降低了機械原因造成的測量誤差。自動懸臂更換等自動化功能有助于提升品質管理,提高測試效率。單使用AFM5500MⅡ測試可以得到形貌和物理測量結果,再利用與SEM/CSI等其他顯微鏡的共享坐標樣品臺功能,可以實現高精度的故障解析與缺陷評價。此外,由于新增了AFM標記功能,多臺設備可以輕松測量樣品的同一位置。HITACHI日立全自動掃描探針顯微鏡AFM5500MⅡ規格:型號AFM5500M尺寸?重量裝置外觀尺寸?重量※1750 mm(W) x 877 mm(