型號(hào)

AFM5500M

尺寸?重量

裝置外觀尺寸?重量※1

750 mm(W) x 877 mm(D) x 1400 mm(H)、約361 kg

AFM主機(jī)外觀尺寸?重量※1

340 mm(W) x 502.5 mm(D) x 546 mm(H)、約31.6 kg

檢測(cè)系統(tǒng)

檢測(cè)方式

光杠桿法

光源

SLD（發(fā)光二管激光器）

懸臂加振方式

壓電激振

規(guī)格

基本規(guī)格

RMS噪音水平※2

≤0.04 nm

重現(xiàn)性※2

XY ≤ 15 nm（3σ、10 μm垂直間隙測(cè)量）
Z≤1 nm（3σ、100 nm深度測(cè)量）

XY正交性※2

90°±0.5°（在掃描角度0°、45°、90°時(shí)）

平坦度（圓弧誤差）※2

≤2 nm/50 μm

大樣品尺寸

大 φ100 mm（4英寸）、厚度 20 mm、重量 2 kg

掃描器（掃描范圍）

XY:大 200 μm/Ｚ:大 15 μm（XY:閉環(huán)控制/Z: 位移傳感器測(cè)量）

光學(xué)顯微鏡視野※3

放大倍率: 1X～7X
910 μm ×650 μm～130 μm×90 μm

基本功能

AFM、DFM、PM（相位）、FFM

減震隔音機(jī)構(gòu)

臺(tái)式主動(dòng)減震臺(tái)、隔音罩

自動(dòng)精密馬達(dá)臺(tái)

大觀察范圍

直徑 100 mm（4英寸）

馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍

XY≥100 mm、Z≥21 mm

小步進(jìn)※4

XY 2 μm、Ｚ 0.04 μm

AFM主機(jī)

RealTuneⅡ

自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速度以及信號(hào)反饋

操作界面

導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測(cè)試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描可動(dòng)范圍/測(cè)量記錄顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評(píng)價(jià)功能、樣品臺(tái)對(duì)中功能、程序功能、故障診斷功能

實(shí)時(shí)測(cè)量（像素點(diǎn)）

四通道測(cè)量（大2048x2048)
雙通道測(cè)量（大4096x4096)

長(zhǎng)方形掃描

2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、
128:1、256:1、512:1、1024:1

數(shù)據(jù)分析

三維顯示功能、線粗糙度分析、面粗糙度分析、截面圖（任意、平均）

自動(dòng)控制功能

自動(dòng)更換懸臂、光軸自動(dòng)調(diào)節(jié)

選配功能

測(cè)量環(huán)境

大氣環(huán)境

擴(kuò)展測(cè)量模式（選配）

SIS形貌、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech（彈性模量測(cè)定功能）
機(jī)械物性系統(tǒng)（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion）
電氣特性Ⅰ（KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC)、PRM、MFM）
電氣特性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico））

其他功能（選配）

高至100 V 偏壓放大器、
外部偏壓輸入電纜、軟X射線靜電消除裝置、緊急停機(jī)鍵

共享坐標(biāo)樣品臺(tái)功能
（選配）

AFM標(biāo)記

樣品厚度

4 mm以下

SEM-AFM

大樣品尺寸

φ20 mm、厚度 7 mm

對(duì)中精度

≤±10 μm（AFM對(duì)中精度）

支持型號(hào)

歡迎垂詢(xún)。

CSI-AFM

大樣品尺寸

φ80 mm、厚度 7 mm

對(duì)中精度

≤±10 μm（AFM對(duì)中精度）

支持型號(hào)

歡迎垂詢(xún)。

電源

AC 100～240 V±10％、單相、50/60 Hz、15A、1系統(tǒng)、D種接地、帶接地