所屬系列：ZKYQ-GYXWEM-HITACHI
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紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的性
■支持全視野移動。SEM MAP支持大樣品的全視野觀察支持360度旋轉
②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優化。
■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI■Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
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ITEM |
SU3800 |
SU3900 |
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二級電子分解能 |
3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） |
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15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） |
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背散射電子分解能 |
4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） |
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倍率 |
×5～×300,000（照片倍率*1） |
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×7～×800,000（實際顯示倍率*2） |
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加速電壓 |
0.3kV～30kV |
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低真空度設定 |
6～650 Pa |
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圖像位移 |
±50μm（WD＝10mm） |
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大樣品尺寸 |
200mm直徑 |
300mm直徑 |
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樣品臺 |
X |
0～100mm |
0～150mm |
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Y |
0～50mm |
0～150mm |
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Z |
5～65mm |
5～85mm |
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R |
360°連續 |
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T |
－20°～+90° |
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大可觀察范圍 |
130mm直徑（R并用） |
200mm直徑（R并用） |
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大可觀察高度 |
80mm（WD=10mm） |
130mm（WD=10mm） |
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電機驅動 |
5軸電機驅動 |
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電子光學系統 |
電子槍 |
預對中鎢燈絲電子槍 |
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物像鏡頭光圈 |
4孔可動光圈 |
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檢測系統 |
二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 |
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EDX分析WD |
WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
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圖像顯示 |
自動光軸調整功能 |
自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC） |
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自動光軸調整（實時級別對齊） |
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自動調整光束亮度 |
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自動圖像調整功能 |
自動亮度和對比度控制（ABCC） |
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自動對焦控制（AFC） |
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自動標記和焦點功能（ASF） |
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自動燈絲飽和度調整（AFS） |
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自動光束對準（ABA） |
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自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） |
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操作輔助功能 |
電子束旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 |
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配件 |
■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 |
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配件（外部裝置） |
能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 |
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*1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
*2.指定放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
