項目

內容

分辨率*3

4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式）
15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式）
5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）

加速電壓

0.3 kV～20 kV

倍率

×6～×300,000 （照片倍率）
×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）

低真空設置

6～100 Pa

電子槍

預對中鎢燈絲電子槍

樣品臺

3軸馬達驅動樣品臺
X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm
T：-15～90°、R：360°
大可觀察范圍：直徑64mm（R聯用）*4

大樣品尺寸

直徑80 mm（選配：直徑153mm）

大樣品高度

40 mm

尺寸

機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm
電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm

選項

高度低真空檢測器（UVD2.0）

能量色散型X射線檢測器（EDS）

軟件

Multi Zigzag（連續視野圖像導入功能）