所屬系列：ZJYQ-GYXWEM-HITACHI
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電話咨詢
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項目 |
內容 |
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圖像分辨率 |
二次電子分辨率 |
0.8 nm/15 kV |
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0.9 nm/1 kV |
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放大倍率 |
20～2,000,000 x |
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電子槍 |
發射體 |
ZrO/W熱場發射（肖特基熱場發射） |
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加速電壓 |
0.1～30 kV （步進：0.01 kV） |
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束流 |
大200 nA |
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探測器 |
標準探測器 |
UD （上探測器) |
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MD （中探測器） |
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LD （下探測器) |
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選配探測器*1 |
PD-BSED (半導體式背散射電子探測器） |
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UVD（高靈敏度低真空探測器 ） |
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低真空模式*1 |
樣品倉壓力范圍 |
5～300 Pa |
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可使用探測器 |
PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
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馬達臺 |
馬達臺控制 |
5軸馬達驅動 |
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移動范圍 |
X |
0～135 mm |
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Y |
0～100 mm |
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Z（WD） |
1.5～40 mm |
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T（傾斜角） |
-5～70° |
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R（旋轉角） |
360° |
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樣品尺寸 |
大直徑：φ200 mm, 大高度：80 mm |
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顯示器*1 |
23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 |
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圖像顯示模式 |
全屏顯示模式 |
1,280×960像素顯示 |
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單屏顯示模式 |
800×600像素顯示 |
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雙屏顯示模式 |
800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 |
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四屏顯示模式 |
640×480像素顯示 |
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六屏顯示模式*2 |
640×480像素顯示 *2 |
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圖像數據保存 |
保存圖像尺寸 |
640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
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選配附件 |
能譜儀（EDX） |
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X射線波譜儀（WDX） |
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電子背散射衍射（EBSD） |
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陰熒光探測器（CL) |
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冷凍傳輸系統 |
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各種功能樣品臺 |
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*1為選配項。
*2支持雙屏顯示。
