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從尺寸小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的大樣品高度為254 mm，大橫向樣品空間為300 mm，拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性。可滿足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至聚焦位置。
半導體生產和晶圓檢測需要在潔凈室內進行。根據DIN EN ISO 4644-標準，以每立方米的顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（992）的00級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 4644-認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。
